Mehrlagige Dünnschichtstrukturen für den industriellen Einsatz

A2.227

Sensor-Technik Wiedemann GmbH


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Bei Dünnschicht denken die meisten Anwender an Drucksensoren, wie sie häufig in industriellen und automotiven Anwendungen zum Einsatz kommen. Dies ist jedoch nur ein kleiner Teil der Möglichkeiten, die mit der Dünnschichttechnologie realisierbar sind. Die KMW GmbH (ein Unternehmen der Wiedemann-Gruppe) entwickelt und fertigt komplexe, kundenspezifische Dünnschichtstrukturen und -sensoren.

Neben Kraftsensoren, welche direkt auf das Maschinenbauteil appliziert werden können, bieten vor allem Dünnschichtstrukturen, die in mehreren Lagen übereinander "gestapelt" werden, ungeahnte Möglichkeiten. So können u.a. sehr klein bauende Leiterkarten auf Keramikbasis gefertigt werden, mit denen es möglich ist, Prozessoren bei hohen Taktfrequenzen ohne störende Einflüsse zu messen. Eine andere Möglichkeit besteht darin, mehrere Spulensegmente übereinander zu schichten, um so den Bauraum der Struktur zu minimieren.

Durch das verwendete Dünnschichtmaterial sind Betriebstemperaturen bis zu 300°C möglich. Dieser Temperaturbereich wird durch eine geeignete Aufbau- und Verbindungstechnik unterstützt. In Verbindung mit einer entsprechenden Auswertelektronik, welche von der Sensor-Technik Wiedemann GmbH entwickelt wird, steht dem Anwender ein kompensiertes, auf die jeweilige Anwendung angepasstes Ausgangssignal zur Verfügung.